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北京火龙果科学仪器有限公司
飞秒/准分子双激光微加工系统
    发布时间: 2025-10-24    

最新推出飞秒/准分子双激光精密微加工系统，双激光可以分开使用，也可以实现原位二次加工。该系统结合超快激光器和深紫外激光器的的独特优势，实现超高精度的微加工，为用户提供非凡的新体验

飞秒/准分子双激光微加工系统

HLG-FU 飞秒 / 准分子微加工系统

原理图：


应用示例：

打孔 / 飞秒

铝箔划线 / 飞秒

柔性 PCB 微加工 / 准分子

微流控 / 准分子

聚合物双光子微加工 / 飞秒

陶瓷切割 SEM / 飞秒

剥线 / 准分子

树脂镜片打标 / 准分子


参数指标：

参数

飞秒激光器

准分子激光器

波长

800 nm（266 nm可选）

193 nm（248 nm可选）

脉冲宽度

120 fs

5-10 ns

重复频率

10~1000 Hz

1~1000 Hz

单脉冲能量

3.5 mJ

10 mJ

位移台行程

200 x 100 x 25 mm（X/Y/Z）

重复定位精度

1μm（X/Y，磁栅尺）











※ 根据客户要求，可采用任何常用的飞秒、准分子激光器进行系统配置。