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北京火龙果科学仪器有限公司
飞秒激光微加工系统
    发布时间: 2025-10-24    

飞秒激光精密微加工系统,采用脉冲宽度极短的超快激光器。飞秒激光脉冲拥有独特的材料加工特性,其加工孔径的熔融区很小或者没有;可以实现多种材料,如金属、半导体、透明材料内部甚至生物组织等微加工、雕刻;加工区域可以小于聚焦尺寸,突破衍射极限;能用于切割易碎的聚合物,而不改变其重要的生物化学特性等。

飞秒激光微加工系统

应用范围:

※ 石英/蓝宝石/玻璃/金刚石等透明材料切割,钻孔,雕刻;

※ 陶瓷/金属材料的切割,钻孔;

※ 高分子材料消融;

※ 薄膜选择性去除;

※ 激光烧蚀,用于ICP-MS分析;

※ 光纤光栅/光纤传感;

※ 双光子聚合。


主要特点:

※ 加工过程全部自动化,视频监控,所见即所得;

※ 人性化的软件界面,可以输入DXF,G-code等2D/3D文件直接加工;

※ 激光器重复频率/输出功率/光束直径连续可调;

※ 稳定的大理石结构,满足科研要求,也可以用于批量生产。



灵活的客户解决方案:

※ 按照客户提出的实际需求,选择激光光源。

※ 位移台可选择μm级或者更高精度,适合客户需求;

※ 物镜、CCD成像系统均可根据客户要求定制;

※ 可选扫描振镜,用于快速加工或者阵列加工方式。














参数指标:


参数

飞秒激光器

波长

800nm(266nm可选)

脉冲宽度

120 fs

重复频率

10-1000Hz

单脉冲能量

3.5mJ

位移台行程

200x 100x25mm(X/Y/Z)

重复定位精度

1μm (X/Y,磁栅尺)